Оператор прецизионной фотолитографии

Разряды 2-4

Оператор прецизионной фотолитографии — это квалифицированный рабочий, обеспечивающий изготовление высококачественных микросхем и других миниатюрных устройств методом точной фотолитографической технологии. Работа оператора предполагает точное исполнение всех этапов производственного цикла, включая нанесение фоторезистов, обработку ультрафиолетовыми лучами, формирование микропрофиля на кремниевых пластинах и проверку качества готовых изделий.

Основные обязанности:

• Подготовка установки и фотошаблона перед началом работы.
• Обеспечение точного нанесения фоторезиста на поверхность заготовки.
• Контроль экспозиции, проявки и очистки фоторезиста.
• Оценка качества полученного изображения и контроль соблюдения геометрических размеров.
• Устранение выявленных дефектов и повреждений.
• Документирование всего хода технологического процесса.
• Поддержание рабочего места в чистоте и порядке.

Основание для обучения: Приказ Минпросвещения РФ № 534 от 14.07.2023 г.

Для обучения необходимо: заполненная заявка, фото 3*4 (можно в электронной форме), реквизиты (для юридических лиц), паспортные данные, копия СНИЛС, копия документа об образовании, оплата за обучение.

Выдаваемый документ: свидетельство о профессии рабочего, должности служащего и удостоверение рабочего

Форма обучения: очно-заочная с применением дистанционных образовательных технологий

Квалификационные характеристики

2 разряд

Характеристика работ. Подготовка пластин кремния, заготовок масок, ситалловых, керамических, металлических и стеклянных пластин с маскирующим слоем перед нанесением светочувствительного покрытия (обезжиривание и декапирование, промывка, сушка). Нанесение и сушка светочувствительного покрытия; контроль качества выполненной работы (оценка клина проявления, неровности края, замеры линейных размеров с помощью микроскопа МИИ-4). Сушка заготовок в термостате. Удаление светочувствительного покрытия в случае необходимости. Формирование партии пластин для обработки на автоматизированном оборудовании. Разбраковка изделий по параметру неплоскостности, по внешнему виду, по номеру фотолитографии, по типономиналу. Химическая очистка и мытье посуды. Приготовление хромовой смеси.

Должен знать: наименование и назначение важнейших частей и принцип действия обслуживаемого оборудования (центрифуга, ванна, сушильный шкаф); назначение и условия применения специальных приспособлений и приборов для контроля процесса; основные свойства фоторезистов; назначение и работу микроскопов; состав и основные свойства светочувствительных эмульсий, правила хранения и использования их; основные химические свойства применяемых материалов.

3 разряд

Характеристика работ. Проведение фотолитографических операций по совмещению элементов рисунка топологии схемы на пластине с соответствующими элементами на фотошаблоне с точностью +/- 5 мкм на установках совмещения и экспонирования. Экспонирование, проявление и задубливание фотослоя, а также травление различных материалов (окиси кремния, металлов и многокомпонентных стекол, включая многослойные структуры из различных металлов) по заданным в технологии режимам. Контроль качества травления. Термообработка, отмывка фотошаблонов в процессе их эксплуатации. Приготовление растворов для проявления, травления. Фильтрация фоторезиста. Снятие фоторезиста в кислотах, органических растворителях. Защита поверхности пластин пассивирующей пленкой. Контроль качества клина, проявления и травления на микроскопах. Измерение вязкости фоторезиста.

Должен знать: назначение, устройство, правила и способы подналадки оборудования, приспособлений и инструмента (микроскопов, ультрафиолетовой и инфракрасной ламп, термостата, контактных термометров и вискозиметров); режимы проявления фотослоев; технологические приемы травления различных материалов (окись кремния, металлы и др.); подбор времени экспонирования и травления; основные свойства фоточувствительных эмульсий и их компонентов.

4 разряд

Характеристика работ. Проведение всего цикла фотолитографических операций с разными материалами на одном образце с точностью совмещения +/- 2 мкм. Травление многослойных структур (AL-MO-AL) и сложных стекол (ФСС, БСС). Подбор и корректировка режимов нанесения, экспонирования, проявления, травления в зависимости от применяемых материалов в пределах технологической документации. Отмывка фотошаблонов, нанесение, сушка фоторезиста, проявление, задубливание, травление на автоматических линиях. Определение толщины фоторезиста и глубины протравленных элементов с помощью профилографа, профилометра. Определение адгезии фоторезиста и плотности проколов с помощью соответствующих приборов. Замер линейных размеров элементов под микроскопом. Совмещение маски и фотошаблона по реперным модулям и элементам. Определение процента дефектных модулей на фотошаблоне в процессе эксплуатации. Ретушь копии схемы с помощью микроскопа. Аттестация геометрических размеров элементов на маске и пластине кремния с помощью микроскопов с точностью +/- 3 мкм, на фотошаблоне — с точностью +/- 0,2 мкм. Проведение процесса двухсторонней фотолитографии. Определение неисправностей в работе установок и автоматического оборудования и принятие мер к их устранению.

Должен знать: устройство, правила наладки и проверки на точность поддержания технологических режимов всех установок автоматов, входящих в технологическую линию фотолитографии; правила настройки микроскопов; способы приготовления и корректирования проявляющих и других растворов; последовательность технологического процесса изготовления изделий (транзистора, твердой схемы); причины изменения размеров элементов, неровности краев, недостаточной их резкости и методы их устранения; фотохимический процесс проявления фоточувствительных эмульсий; способы определения дефектов на эталонных и рабочих фотошаблонах; основы электротехники, оптики и фотохимии.

• Вы заключаете договор на обучение с АДОП «Альянс», что юридически защищает вас
• Материал курса логически структурирован в предметы и разбит на лекции, вы будете идти от простого к сложному
• По окончании обучения вы сможете вернуть 13% НДФЛ за расходы на обучение себя или супруга
• Нагрузку обучения мы согласуем до заключения договора. Вы будете изучать курс в комфортном режиме
• Дополнительные материалы (формы, шаблоны, бланки) вы сможете скачать себе для использования в профессиональной деятельности

Чтобы быть в курсе актуальных новостей и знакомиться с интересными статьями, подписывайтесь на Нашу группу в ВК